固體激光剝離設備
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固體激光剝離設備

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MALLO-10B型

一、產品簡介

固體激光剝離設備是本公司依托北京大學寬禁帶半導體研究中心多年的材料研究經驗與成果、精心設計推出的新一代微區激光剝離設備。在中鎵公司獨有的MALLO專利技術之基礎上,該設備采用半導體固體激光器完美地實現了藍寶石襯底上GaN的剝離工藝,為GaN基LED、LD等光電子器件等領域的科研、量產提供了一套嶄新的解決方案。

它采用國際最先進的紫外工業化激光器、特殊的光學處理系統、高速數字振鏡掃描系統進行連續掃描剝離而成。利用我公司自主開發的軟件進行系統控制。

優勢和特點

1、與傳統的激光剝離相比,采用微區工藝的MALLO-10B設備無需將光斑與芯片或芯片排列進行嚴格的對準,使外延片或復合襯底的裝夾操作變得非常便捷;

2、采用半導體固體激光器,激光器維護非常簡單,設備的運行費用得到顯著的降低;

3、半導體固體激光器光斑面積的縮小大大減少了對器件材料的損傷,使設備能快速、無損地完成剝離工藝,顯著地提高了良品率和產品質量。

二、產品特征

  • 采用一體化結構設計,整機美觀大方,操作方便。

  • 多語言人機界面,多種數據輸入方式(bmp,dxf,plt)。

  • 低損傷、高良品率。

  • 加工參數可實時調節及記憶功能。

  • 可24小時連續工作,性能穩定,運行費用低廉。

  • 配備工作終端功率監視系統,可以一鍵實現不定時監視工作終端激光功率,準確掌握激光功率穩定狀態,更好的實現工件剝離。

  • 視頻實時監視系統,可以在線監視工件剝離狀況。

  • 圖形化掃描程序,可根據客戶需要以任意圖形掃描剝離。

  • 功率調節系統,可以實現自動編程調節激光功率。

  • 本機具有整機運行穩定,人機界面好,操作方便,維護簡單等特點。

  • 多用途:工業量產、科研、剝離器件和襯底材料。

  • 可遠程控制和維護軟件。

三、技術參數

  • 激光器波長:355nm;

  • 激光器激光類型:調Q,<100KHz

  • 激光器光束質量:M2 <2

  • 激光器激光功率長時間的穩定度:±3%(8Hrs)

  • 加工產品范圍: ≤4 inch

  • 產能: <240秒/片 (2 inch外延時)

  • 壓縮空氣:0.5~0.8 MPa,60l/min。

  • 激光器冷卻方式:水冷(間接,自循環)

  • 冷卻介質: 純凈水或蒸餾水

  • 外形尺寸: 1250*720*1375(L×D×H)(不含報警燈高度)

  • 電源/功率: AC220V±10% 50或60Hz / 3KW

四、使用環境基本要求

  • 環境溫度:20℃~30℃。

  • 相對濕度:<60%,無凝水。

  • 環境氣壓:86kpa~106kpa。

  • 環境空氣:潔凈室(class1000-10000)內,或相同條件。

  • 壓縮空氣:0.5~0.8 MPa,干凈、干燥,60l/min。

  • 電源/功率: AC220V±10% 50Hz,3KVA。

  • 電網地線符合機房國標要求。

  • 抽風除塵系統:風量>100m3/Hr,風壓3200Pa

  • 地基振幅:<50um,要求地面水平,振動加速度:<0.05g,避免附近有大型振動設備;

  • 電磁干擾:設備安裝處附近應無強烈電磁干擾,遠離無線電發射站或中繼站;

五、售后服務

免費安裝、調試、培訓,終生維護,設備本身質量原因免費保修一年,24小時響應。